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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

工程环境 该半导体技术制造技术厂家座落豫东中南部,注意研发集成型电路设计鑫霖环保芯片,日废气含氟废污水工作约800吨。会因为内地绿色标准化延长,原先的工作配套设施是没办法提供氟化物废气酸度不超过5mg/L的新符合要求,厂家项目投资1八百万元刚刚建立职业含氟废污水工作工作软件系统。 生活污水的成分及原因 污废水 具体来源地于集成块制作时候中的刻蚀工艺和除污工艺,具体污染问题物收录: 氟阴阳离子含量:300-800mg/L pH值:2- 有大量硅酸盐、磷酸 微量分析巨资属如铜、镍等 工作新工艺方案 应用"采样+生物沉淀物+深度的清理"组合式流程: 调整池:均衡性环境质量排水量,设有pH同屏在线检测 3级症状池:加药氢氧化物钙,把控好pH至7-8,产生氟化钙滤渣 一级通过成绩凝固池:凝固提取氟化钙废水 一级体现池:添加氯化钙和缩聚氯化铝,进十步清除残存氟亚铁离子 两级滤渣池:第二次滤渣隔离 砂滤系统的:清掉漂浮物 可溶性炭溶解:出掉可挥发物和轻微巨资属 生活污水治疗体系:板框压滤脱水处理,生活污水水分含量率下降60%这 最终能够功效 软件系统操作动态平衡后,喷水水硬度: 氟正离子质量浓度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 天价属水分含量均降到排除限 压根能够满足《电子设备重工业水造成的有机废气的直接排放规范标准》(GB39731-2020)要,每次减低氟化物的直接排放约180吨。

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