该晶圆制作业厂建在苏北城市,关键工作85英寸半导体行业晶圆,平均污水废气排缩量上涨约800吨。是因为工作流程中食用丰富盐酸展开晶圆蚀刻,从而导致污泥里氟化物氧浓度更是高达200-300mg/L,远超政府废气直接鑫霖环保的(10mg/L下类)。
生产废水物质及来源地
废水处理最主要存在几个方面:
晶圆蚀刻加工过程
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸钠及极少量血本属
药剂学自动化设备拋光(CMP)废渣
:含纳米级级硅粒子、有机化学络合剂
系统的洗涤废水处理
:含异丙醇、挥发酚等高分子化合物物
操作工序工作流程
适用"耐腐蚀沉定+沥青混凝土沉定+宽度滤出"四级加工处理软件:
三级净化处理
:加药氯化钙和氢脱色钙,出现氟化钙结晶,氟化物出掉率达85%
2级工作
:加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),消除固体态污染问题物
三阶段加工
:可以通过多物料滤出器和特异性炭吸,满水后氟化物渗透压稳定性在8mg/L一下
关健机械设备以及:pH模式自动调模式、斜管结晶池、板框刮刀离心机(工业废水脱水现象)。
以后体验
項目进行五年期监测站数据信息彰显:
氟化物月均浓度值:7.2mg/L(降到部委规范标准)
COD除去率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年收废氟化钙副服务约150吨,保证 影视减量化根据