该厂为8英尺晶圆种植线整套搭配的超软水系统的,一天到晚呈现含硅化工废水150吨。化工废水底虽无天价属,但硅含量的高易水垢,且电容率需可达18MΩ·cm能够造纸废水处里。本来的处里技术不可能提供新公布的《自动化化学工业水造成的污染源直接废气排放基准》(GB39731-2020)非常直接废气排放规定值。
废水处理组分优势
重要污染破坏物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(孔径0.1-1μm)
特别耍求
:TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L
水环境性状
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物特性较为复杂
外理施工工艺方案
革新主要采用"梯级膜转移+电去化合物"组和施工工艺:
微滤预除理
:1μm瓷砖膜阻止大颗料硅,通量恢复80LMH
化合物互转树脂材料
:D201大孔光敏树脂会选择吸收硅酸分子式
中级RO平台
:第一名段收购率60%,第二个段用到高脱硼膜组件
EDI电去阴阳离子
:电压比热容2A/m²,连续弄掉残存阴离子
UV紫外线消菌
:254nmUV太阳辐射线的用药量40mJ/cm²
技术设备突出
開發使用阻硅剂(巧妙胺类pp物),延迟膜危害时间是3倍
EDI方案技术创新流道的设计,硅彻底清除率增加至99.8%
在线平台硅剖析仪(測量范畴0.1-500μg/L)保持深度贫困把控好
启用举措
经三、方查测:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼含量从8μg/L降为0.3μg/L
系统的收购率从原40%完善至68%
膜进行更换的周期延伸至5年,年运作料工费降低了35%