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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆种植线整套搭配的超软水系统的,一天到晚呈现含硅化工废水150吨。化工废水底虽无天价属,但硅含量的高易水垢,且电容率需可达18MΩ·cm能够造纸废水处里。本来的处里技术不可能提供新公布的《自动化化学工业水造成的污染源直接废气排放基准》(GB39731-2020)非常直接废气排放规定值。 废水处理组分优势 重要污染破坏物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(孔径0.1-1μm) 特别耍求 :TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L 水环境性状 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物特性较为复杂 外理施工工艺方案 革新主要采用"梯级膜转移+电去化合物"组和施工工艺: 微滤预除理 :1μm瓷砖膜阻止大颗料硅,通量恢复80LMH 化合物互转树脂材料 :D201大孔光敏树脂会选择吸收硅酸分子式 中级RO平台 :第一名段收购率60%,第二个段用到高脱硼膜组件 EDI电去阴阳离子 :电压比热容2A/m²,连续弄掉残存阴离子 UV紫外线消菌 :254nmUV太阳辐射线的用药量40mJ/cm² 技术设备突出 開發使用阻硅剂(巧妙胺类pp物),延迟膜危害时间是3倍 EDI方案技术创新流道的设计,硅彻底清除率增加至99.8% 在线平台硅剖析仪(測量范畴0.1-500μg/L)保持深度贫困把控好 启用举措 经三、方查测: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含量从8μg/L降为0.3μg/L 系统的收购率从原40%完善至68% 膜进行更换的周期延伸至5年,年运作料工费降低了35%

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