半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
大型项目背景图案
该半导体芯片工业企业隶属于长江三角洲型地区划分,重点产生销售855英寸和1255英寸晶圆,日减排废储水量约2000吨。原因产生销售工艺设备更复杂,废泥里包含有多难吸附无机物和血本属正离子,过去的除理的方式不易达到急剧须严格的减排规范。
化工废水有效成分及源
化工生活污水处理注意来发源于四种的环节:晶圆激光割切化工生活污水处理所含非常多硅粉和激光割切液残存;化学物质机械制造cnc精密机械加工化工生活污水处理含高电解质溶液硅和碾磨小粒;刻蚀的洗涤化工生活污水处理所含氟化物、铜铝离子等巨资属;光刻方法化工生活污水处理则所含光阻剂等有机会水空气污染物。水源的特点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物溶液浓度高(200-400mg/L)、漂浮物多且所含轻微巨资属。
处里工艺技术方法
用到"化学预处里+生物化学处里+的深度处里"的女子组合生产工艺:
自动调节池均等化水的质量发电量
沥青混凝土放置清掉浮动物和氢氧化铁有机物
物理化学析出出的法专门针对处里氟化物,加药系统钙盐建立氟化钙析出出的
水解反应硝化作用池提高自己生活污水可生物化性
接觸氧化物池可降解设计水工业废气
活性氧炭溶解塔对其进行深度1加工处理
膜破乳系统性切实保障出液生活饮用水动态平衡
真对含铜化工废水专门设备化合物互换软件系统,出售有的价值的金属材料铜。
终结功能
投资项目建设成后执行保持稳定,喷水COD<50mg/L,氟化物溶度<5mg/L,铜亚铁离子溶度<0.3mg/L,某项指標均远远超过的国家《网上化学工业水被污染环保排卸标准规定标准规定》(GB 39731-2020)。第一年可可以减少COD环保排卸标准规定约300吨,氟化物环保排卸标准规定约50吨,利用铜重金属约2吨,达到了室内环境盈利能力与经济性盈利能力的合作共赢。